WEKO3
アイテム
プルロニック系界面活性剤によるフォトレジストの剥離および再付着防止機構
https://doi.org/10.20604/0002000068
https://doi.org/10.20604/00020000686ffd642a-558b-4e93-a7d8-cd460ab0007f
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
|---|---|---|
1228B_Abstract (1.4 MB)
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.png)
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1228B (5.3 MB)
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| Item type | 学位論文 / Thesis or Dissertation(1) | |||||||||
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| 公開日 | 2024-06-07 | |||||||||
| タイトル | ||||||||||
| タイトル | プルロニック系界面活性剤によるフォトレジストの剥離および再付着防止機構 | |||||||||
| 言語 | ja | |||||||||
| 言語 | ||||||||||
| 言語 | jpn | |||||||||
| 資源タイプ | ||||||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_db06 | |||||||||
| 資源タイプ | doctoral thesis | |||||||||
| ID登録 | ||||||||||
| ID登録 | 10.20604/0002000068 | |||||||||
| ID登録タイプ | JaLC | |||||||||
| アクセス権 | ||||||||||
| アクセス権 | open access | |||||||||
| アクセス権URI | http://purl.org/coar/access_right/c_abf2 | |||||||||
| 著者 |
半澤 将希
× 半澤 将希
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| 学位名 | ||||||||||
| 言語 | ja | |||||||||
| 学位名 | 博士（工学） | |||||||||
| 学位授与機関 | ||||||||||
| 言語 | ja | |||||||||
| 学位授与機関名 | 東京理科大学 | |||||||||
| 学位授与年度 | ||||||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||||||
| 内容記述 | 2023 | |||||||||
| 言語 | ja | |||||||||
| 学位授与年月日 | ||||||||||
| 学位授与年月日 | 2024-03-18 | |||||||||
| 学位授与番号 | ||||||||||
| 学位授与番号 | 乙第1228号 | |||||||||
| 学位記番号 | ||||||||||
| 言語 | ja | |||||||||
| 値 | 工学乙第1190号 | |||||||||
| 著者版フラグ | ||||||||||
| 出版タイプ | VoR | |||||||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 | |||||||||
